ウルトラパッケージ化された MEM トランスデューサ

Nov 21, 2023

レディング・トレーガー著 | 2022 年 7 月 20 日

Posifa Technologies は、完全に校正された新しい PVC4100 シリーズ MEMS ピラニ真空トランスデューサを発表しました。 コスト効率の高い OEM 統合向けに設計されたこのデバイスは、表面実装 MEMS ピラニ センサーとマイクロコントローラーベースの測定電子機器で構成されており、すべてコネクタ終端ワイヤー ハーネスを備えた超小型 PCB アセンブリにパッケージ化されています。

PVC4100 のセンサー素子は、Posifa の第 2 世代 MEMS 熱伝導チップをベースにしており、ガスの熱伝導率はその真空圧力に比例するという原理に基づいて動作します。 トランスデューサーのマイクロコントローラーベースの測定電子機器はセンサー信号を増幅およびデジタル化し、I²C インターフェイス経由で出力を提供します。 周囲温度の変化による熱伝導率の変化を補償するために、このデバイスは、内蔵温度センサーから入力を取得する温度補償アルゴリズムを備えています。

本日リリースされたトランスデューサは、デジタル真空計や、真空断熱パネルなど、一次真空ポンプの下で維持される密閉システムの漏れ検出に最適です。 これらのアプリケーション向けに、このデバイスは、低消費電力と 250 ミリ秒の非常に速い応答時間、0.1 ミリトール (0.013 Pa) から 1 気圧 (760 トール、または 101 kPa) までの広い有効範囲、1 から 15 % の精度を兼ね備えています。ミリトールから200,000ミリトールまで。 読者は、トランスデューサの仕様をカスタマイズするためのオプションについて話し合うために、Posifa に問い合わせることができます。

PVC4100 のサンプルと量産版は現在入手可能で、Posifa の正規代理店から直接注文できます。